EN
Жартылай өткізгіштік компоненттердің жалпы шығымы мен сапасы олардың бетінің сапасына тікелей тәуелді. Микросхемалардың өлшемі кішірейген сайын, пластиналардың беті одан да тегіс болуы және олардың негізгі бетінде ешқандай физикалық зақымдану болмауы қажет. Ультра-жіңішке алмазды өңдеу дөңгелектері жұқа пленкалы өңдеу мен пластинаны жұқартуға әсер ететін жаңалықтардың бірі болып табылады, ол пластиналарды микрон деңгейінде тегістеуге мүмкіндік береді және пластина бетінде азғантай ішкі беттік зақымдануға әкеледі.
Пластиналарды тегістеу үшін өте жіңішке алмазды дөңгелектер неге қажет?
Дәстүрлі өңдеу процесі терең сызықтар мен ішкі беттік зақымдарды тудыруы мүмкін, олар терең болуы мүмкін және көп тегістеу қажет етеді. Бұл зақым кремний карбиді (SiC) және галлий нитриді (GaN) сияқты сынғыш және қатты жартылай өткізгіш материалдар үшін ауыр мәселе болып табылады, өйткені олар өңдеу мен тегістеу арқылы жұқартуға жарамсыз, себебі олар осы стандартты машиналармен оңай сынады, уланады және бөлінеді.
Бұл қиындықты жеңу үшін ультра-жіңішке алмазды дөңгелектер әдетте #3000–#8000 немесе одан да жоғары торлы өте жіңішке алмаз ұнтағын қолданады, сондықтан беттердің тегістігі аз ғана полировка керек болады. Бұл дөңгелектер жоғары сапалы, жетілдірілген шыны тәрізді байланыс жүйесін қолданады, ол өлшемдік тұрақтылықты жоғары деңгейде қамтамасыз етеді және жылу өткізгіштігі өте жақсы болады, сондықтан ұзақ өндіріс циклдары кезінде тұрақты жұмыс істеуі қамтамасыз етіледі. Зерттеулерде Ra 5 нм-ден төмен беттік тегістік (шамамен полировкаланған бет) қол жетімді болатыны көрсетілді.
Айна сияқты жылтыр бетті полировкалау үшін алмаз технологиясындағы жетістіктер
Ең жаңа алмазды әртүрлі өңдеу әдістері пластиналарды полирлеу технологиясының шектерін кеңейтті. Алмаз негізіндегі көпіршікті және агрегатталған әртүрлі өңдеуші заттар жақсы кесу қабілетін және төмен ұнтақтау күшін қамтамасыз етеді. Алмазды ұнтақтау дөңгелегінің бетіндегі түйіршіктер белгіленген түйіршіктерді ерекше өңделген түйіршіктермен ауыстыру арқылы үздіксіз ұнтақтау процесін қамтамасыз етеді, сондықтан ұнтақтау дөңгелегінің қызмет ету мерзімі мен сүйірлігінің тұрақтылығы қамтамасыз етіледі және ұзақ өндіріс циклдары кезінде ұнтақтау дөңгелегін жиі ауыстыру қажеттілігі тиімді шешіледі.
DISCO компаниясының UltraPoligrind өңдеу дискілері осы дамуға мысал бола алады: Бұл өңдеу дискілері жартылай өткізгіштік құрылғылардың жұқартылу процесі кезінде керекті қоспаларды қабылдау қасиеттерін қамтамасыз ететін, өте ұсақ алмаз өңдеу материалдарынан жасалған. Пластиналарды жұқарту үшін бұл өңдеу дискілері арқылы пайда болатын зақымдалған аймақ өте жұқа, сонымен қатар олармен жұмыс істеу оңай, ұстау оңай және экологияға тигізетін әсері аз.
Байланыс таңдауы: Жоғары сапалы жұмыс істеу үшін керамикалық байланыстар
Пластиналардың микрон деңгейіндегі тегістігін алу үшін байланыс жүйесін ескеру қажет. Пластиналарды өңдеу кезінде металдық және шайырлы байланыстар қолданылған, бірақ олардың әртүрлі кемшіліктері бар. Металдық байланыстар өте берік болғанымен, өздігінен өткірленуге ұмтылмайды, сондықтан жоғары дәлдікті жетілдіру үшін олар өте қолайлы емес. Шайырлы байланыстар жоғары температурада тотығады немесе ыдырайды, сондықтан олар жылуға төзімді емес.
Витрификацияланған (керамикалық) байланыстар өзінің беріктігі, реттелетін кеуектілігі және алмаспен жақсы аралық ылғалдану қабілеті салдарынан ультрадәл пластиналарды жұқарту дөңгелектері үшін ең көп таңдалатын материал болып табылады. Бұл қасиеттер полирлеу қоспасын тиімді жеткізу үшін қажетті кеуектілікке ие дөңгелектерді жасауға мүмкіндік береді, сонымен қатар шаң-тозаңды тиімді алып тастауға мүмкіндік береді, бұл полирлеу кезінде өңделетін беттің жылулық зақымдануын болдырмау үшін өте маңызды.
Алғысқа лайық ұнтақтау жабдықтарымен интеграциялау
Ең жақсы нәтиже алу үшін ультрадәл алмас дөңгелектері ұнтақтау параметрлерін реттеуге мүмкіндік беретін алғысқа лайық ұнтақтау жабдықтарымен үйлесімді болуы керек. Қазіргі заманғы пластиналарды жұқарту машиналарында ұнтақтау күштерінен немесе электр қозғалтқышының тогынан кері байланыс қабылдайтын бағдарламалық жасақтама орнатылған және беттің сапасын сақтау үшін дөңгелектің қозғалысын реттейді.
Жоғары өнімділікті жүйелер екі мақсатта — материалды алып тастау мен бетті жөндеу үшін — алға және артқа бағытталған дөңгелектердің қозғалысын қолданады, сондықтан қосымша операциялардың қажеті болмайды. Бұл Ra тегістігін 60 нм-ден төмен деңгейге дейін төмендетуге мүмкіндік береді және одан әрі полировка кезеңдерінің қажетін болдырмайды. Өндірушілер өндірістік ауданды және тұтыну материалдарының құнын азайта алады, сонымен қатар арнайы басқару бағдарламалық жасағы бар жалғыз осьті циркульді станокты қолдану арқылы жоғары стандарттарды сақтай алады.
Қорытынды
Супер дәл алмаз өңдеу дөңгелектері — бұл жартылай өткізгіштік пластиналарды өңдеудегі нағыз қадам. Олар пластиналардың бетін микрон деңгейіне дейін тегістеуге мүмкіндік береді, бірақ пластиналарға зиян келтірмейді. Абразивтік технологияны терең түсіну, байланыс жүйесін оптималдау және дәл өңдеу жабдықтарымен интеграциялау арқылы жартылай өткізгіштік өндірушілер қазіргі заманғы жартылай өткізгіштік өндірістің үнемі қиындық туғызатын талаптарына сай қалып отырады. REZZ-тің өнеркәсіптік алмаз өңдеу дөңгелектері жартылай өткізгіштік пластиналарды полировкалау үшін нақты сұранысқа сай шешімдер ұсынады. Бізге қоңырау шалыңыз және пластиналарды өңдеу үшін сізге ненің қажетін айтыңыз.