EN
Yarimo'tkazuvchi komponentlarning umumiy chiqishi va ishlashi yarimo'tkazuvchi sirt sifatiga bevosita bog'liq. Chip o'lchami kichrayib bormoqda, shu sababli uning pastki qismida jismoniy zarar yetkazmasdan, yana ham silliqroq plastinka sirti talab qilinadi. Ultra nozik diamant g'ildiraklar yarimo'tkazuvchi plastinkalarni ingichka qilish va polirovka qilish sohasidagi biror inqilobiy yangilikdir; ular sizga mikron darajadagi plastinka silliqlikni ta'minlaydi va plastinka sirtida pastki qatlamga zarar yetkazmaydi.
Nima uchun plastinkalarni polirovka qilishda ultra nozik diamant g'ildiraklar zarur?
Anʼanaviy gʻiloflash jarayoni chuqur xashalashlar va sirt ostidagi shikastlanishlarga sabab boʻlishi mumkin, ular chuqur boʻlib, keng koʻlamli polirovka talab qiladi. Bu shikastlanish silitsiy karbid (SiC) va galliy nitriddan (GaN) tayyorlangan qattiq va shishilarga oʻxshash yarimoʻtkazgich materiallari uchun jiddiy muammo boʻlishi mumkin, chunki ular gʻiloflash va polirovkaga qoʻllanilganda sindirilish, maydalash va yorilishga moyil boʻlgani uchun ushbu standart uskunalarda ingichka qilish uchun yomon tanlovdir.
Ushbu qiyinchiliklarni hal qilish uchun ultra-ingichka almaz gʻildiraklar, odatda #3000 dan #8000 gacha yoki undan yuqori mesh oʻlchamdagi almaz zarralaridan foydalanib, nisbatan kam polirovka talab qiladigan silliq sirtlarni yaratadi. Bu gʻildiraklar yuqori sifatli, ilgʻor shishali bogʻlanish tizimidan foydalanadi, bu esa oʻlchamlarning barqarorligini taʼminlaydi va issiqlikni yaxshi oʻtkazadi, natijada uzoq ish vaqti davomida barqaror ishlashni taʼminlaydi. Tadqiqotlar natijasida sirtning notekisligi 5 nm Ra dan past (taxminan polirovka qilingan sirt) boʻlgan gʻildiraklar ishlab chiqish mumkinligi koʻrsatilgan.
Ayniqsa silliq sirtli polirovka uchun almaz texnologiyasidagi yutuqlar
Diamantli sirtlarni ishlab chiqish usulining eng yangi modellari plastinka polirlash texnologiyasining chegaralarini kengaytirdi. Diamantga asoslangan qopqoqsimon va birlashgan abrazivlar yaxshiroq kesish xususiyatlarini va kamroq sirtlarni ishlash kuchini ta'minlaydi. Diamantli sirtlarni ishlash diski yuzidagi donachalar, maxsus qilinib tayyorlangan donachalar bilan belgilangan donachalarni almashtirish orqali jarayon davomida doimiy ishlashni amalga oshiradi; shu tufayli ishlash diskinning umr ko'rish muddati va keskinligi doimiy saqlanadi va uzoq muddatli ishlab chiqarish jarayonida ishlash diskinini tez-tez almashtirish zarurati muammosi samarali hal etiladi.
DISCO kompaniyasining UltraPoligrind silliqlash disklari bu rivojlanishlarning yaxshi misolidir: Bu silliqlash disklari yarimo'tkazgichli qurilmalarni ingichkalashtirish jarayonida die mustahkamligini oshirish va getter xususiyatlarini ta'minlash uchun ultra-ingichka almaz abrazivlardan tayyorlanadi. Plastinkalarni ingichkalashtirishda ushbu silliqlash disklari tomonidan yaratilgan shikastlangan soha juda ingichka bo'ladi va bir vaqtda ishlatish, boshqarish oson va atrof-muhitga kamroq zarar yetkazadi.
Bog'lovchi tanlovi: Yuqori samaradorlik uchun seramik bog'lovchilar
Plastinkalarning mikron darajasidagi silliqlikni olish uchun bog'lovchi tizimini hisobga olish kerak. Plastinkalarni silliqlashda metall va rezinaviy bog'lovchilar ishlatilgan, lekin ularning turli kamchiliklari bor. Metall bog'lovchilar yuqori mustahkamlikka ega bo'lsada, o'z-o'zidan keskinlanmaydi va shuning uchun nozik yakuniy ishlash uchun kamroq mos keladi. Rezinaviy bog'lovchilar esa issiqlikka chidamli emas va yuqori haroratlarda oksidlanadi yoki parchalanadi.
Vitrifikatsiyalangan (sirali) bog'lovchi moddalar, ularning mustahkamligi, sozlanadigan porozligi va diamant bilan yaxshi chegaraviy namlanganlik xususiyatlari tufayli, ultra aniqlikdagi plastinkalarni yupqalashtirish uchun ishlatiladigan g'ildiraklar uchun eng afzal materialga aylandi. Bu xususiyatlar, polirovka komponentini optimal tarzda yetkazib berish hamda ishlov berilayotgan detaldagi issiqlik shikastlanishini oldini olish uchun zarur bo'lgan chiplarni optimal tarzda olib tashlash imkonini beradigan g'ildiraklarni ishlab chiqarishga imkon beradi.
Zamonaviy silliqlash uskunalari bilan integratsiya
Eng yaxshi natijaga erishish uchun, ultra mayda diamantli g'ildiraklar silliqlash parametrlarini boshqarish imkonini beradigan zamonaviy silliqlash uskunalari bilan birlashtirilishi kerak. Zamonaviy plastinkalarni yupqalashtirish mashinalari silliqlash kuchlaridan yoki dvigatel tokidan keluvchi axborotni qabul qilib, g'ildirak harakatini shunday boshqaradiki, sirt sifati doim saqlanib turadi.
Yuqori samaradorlikdagi tizimlar materialni olib tashlash va sirtning tozalashini amalga oshirish uchun oldinga va orqaga aylanuvchi g'ildirak harakatlaridan foydalanadi, shu sababli qo'shimcha operatsiya talab qilinmaydi. Bu usul sirtning xavfli nuqtasini (Ra) 60 nm dan kam qilishga imkon beradi va qo'shimcha polirovka bosqichlariga ehtiyoj sezilmaydi. Ishlab chiqaruvchilar ishlab chiqarish maydonini va iste'molchilik materiallari xarajatlarini kamaytirishlari, shuningdek, maxsus boshqaruv dasturi bilan jihozlangan yagona o'qli grindermashinadan foydalangan holda yuqori sifat standartlarini saqlashlari mumkin.
Xulosa
Super nozik diamantli g'ildiraklar yarimo'tkazgich plastinkalarini ishlashda albatta yutuqdir, chunkoki ular plastinkalarni shunchalik silliq qilish imkonini beradi — mikron darajasida silliqlikga erishiladi va plastinkalarga zarar yetkazilmaydi. Abrasiv texnologiyasini chuqur tushunish, bog'lovchi tizimini optimallashtirish va aniq g'ildiraklar bilan integratsiya qilish yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchilarga zamonaviy yarimo'tkazgich ishlab chiqarishning doimiy qiyin talablariga moslashishda yordam berdi. REZZning sanoat diamantli g'ildiraklar doirasidan foydalangan holda yarimo'tkazgich plastinkalarini polirovka qilish uchun maxsus ishlab chiqilgan yechimlarni taklif etamiz. Biz bilan bog'laning va plastinkalaringizni qanday qilish kerakligini aytib bering.