Poljevanje poluprovodničkih obloga: Ultra-fini dijamantski kotačići za glatkoću na razini mikrona

U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) ovog članka, proizvodnja električne energije u Uniji može se upotrebljavati za proizvodnju električne energije u Uniji. Veličina čipova postaje manja, što zahtijeva još glatku površinu oblaka bez fizičkog oštećenja na površini supstrata. S druge konstrukcije to je jedna od najznačajnijih inovacija u tankom filmu, koja omogućava glatkoća i poliranje, a uzrokuje zanemarljive štete na površini.

Zašto su ultramilan dijamantni kotačići neophodni za poliranje omotača

U slučaju da se proizvod ne koristi za proizvodnju proizvoda, proizvod će se koristiti za proizvodnju proizvoda koji se upotrebljavaju za proizvodnju proizvoda. Ova šteta može biti ozbiljan problem za krhke i tvrde poluprovoditeljske materijale kao što su silicij karbid (SiC) i galijum nitrid (GaN), koji su loši izbori za tanje pročišćavanje i poliranje jer imaju tendenciju lomiti, pulverizirati i lomiti se lako s ovim standard

Kako bi se prevazišao ovaj izazov, ultra-fini dijamanti koriste izuzetno fine dijamante, obično od 3000 do 8000 mreža ili više, kako bi se stvorile glatke površine koje trebaju relativno malo poliranja. Ova kola koriste visoko kvalitetan, napredni sustav stakleničkih veza koji pruža visoku dimenzionalnu stabilnost i odličnu toplinsku provodljivost, osiguravajući stabilnu učinkovitost tijekom dugih proizvodnih trka. Za istraživanje su pokazana mogućnost korištenja kotača koji mogu postići površinsku grubost ispod 5 nm Ra (približno polirana površina).

Napredak u tehnologiji dijamantnog poliranja

Najnoviji modeli tehnike škrupljenja dijamantima unaprijedili su granice tehnologije poliranja oblaka. Odvojeni od drugih materijala, oni su vrlo učinkoviti. U slučaju da je proizvodnja na temelju proizvoda iz članka 3. stavka 1. točke (a) točke (a) točke (b) točke (c) točke (d) točke (e) točke (e) točke (e) točke (e) točke (e) točke (e) točke (e) točke (e) točke (e) točke (e) točke (e)

UltraPoligrind žlijezde tvrtke DISCO dobar su primjer tih razvoja: Ovi žlijezde su izrađeni od ultra-finih diamantnih abraziva koji pružaju veću čvrstoću i pružaju svojstva dobivanja potrebnih tijekom procesa tanjenja za poluprovodnike. Za pročišćavanje obloga, oštećeno područje koje stvaraju ovi mlinari je vrlo tanko, a istovremeno je lako upravljati, lako rukovati i ima manje utjecaja na okoliš.

Izbor obveznica: Keramičke obveznice za vrhunske performanse

Za dobivanje glatkoće na mikronnoj razini, potrebno je uzeti u obzir sustav vezivanja. U mletju oblaka korištene su metalne veze i veze smole, ali postoje razni nedostaci. Osim što su vrlo čvrste, metalne veze se ne samo-oštrjuju i stoga nisu pogodne za fino završetak. Žutičane veze nisu vrlo otporne na toplinu i oksidiraju se ili se raspadaju na visokim temperaturama.

Vitrificirane (keramičke) veze postale su najdraži materijal za ultra precizne kotače za tanjenje obloga zbog njihove čvrstoće, podešavajuće poroznosti i dobre vlažnosti interfaše s dijamantom. Priroda omogućuje proizvodnju kotača koji se mogu postaviti na potrebnu poroznost za optimalno isporuku poliranja i optimalno uklanjanje čipova, što je od suštinskog značaja za sprečavanje toplinskog oštećenja predmeta tijekom poliranja.

Uređaji za obradu i obradu

Za najbolje performanse, ultrafini dijamantski kotačići trebali bi se moći kombinirati s naprednom opremanjem za brušenje koje omogućuje kontrolu parametara brušenja. Današnje strojeve za tanjenje oblaka imaju softver koji prima povratne informacije od sila brušenja ili struje motora i reguliše kretanje kotača kako bi se osigurala kvaliteta površine.

Sustavi visokih performansi koriste kombinaciju kretanja kotača naprijed i unazad u dvije svrhe: uklanjanje materijala i obrada površine, čime se eliminiše dodatna operacija. Prikazano je da stvara površine s manjom grubošću Ra, manjom od 60 nm, i bez potrebe za daljnjim fazama poliranja. Proizvođači mogu smanjiti proizvodnu površinu i troškove potrošnih materijala, održati visoke standarde korištenjem jedne mašine za brušenje sa specijaliziranim programskim programom za kontrolu.

Zaključak

Super fini dijamantni trljači su svakako korak naprijed u obradi poluvodičnih oblaka, pod uvjetom da proizvođači oblaka mogu dobiti glatkoću na mikronskom nivou bez ozljede svojih oblaka. Duboko razumijevanje tehnologije abraziva, optimizacija sustava vezivanja i integracija s preciznom opremanjem za brušenje pomoglo je proizvođačima poluprovodnika da se drže korak s sve izazovnijim zahtjevima današnje proizvodnje poluprovodnika. Proizvodi iz područja proizvodnje s proizvodom s više od 100 tona, uključujući proizvodnju s više od 100 tona, su proizvedeni u regiji. Nazovi nas i reci nam što trebaš da obrađuješ na obruci.