Vzhľadom na rýchly rozvoj polovodičového priemyslu sa návrhy čipov zmenšujú, úroveň integrácie stúpa a pokročilé technológie balenia sa neustále vyvíjajú. Výrobcovia polovodičov teraz vyžadujú vyššiu presnosť obrábania, vynikajúcu kvalitu povrchu a stabilnejšie výrobné procesy.

Od tradičných kremíkových platní po pokročilé materiály, ako napríklad karbid kremíka (SiC), safír, nitríd galia (GaN) a kremeňové podložky , hrá presné brúsenie kritickú úlohu pri dosahovaní vysokokvalitných povrchov platní.

Medzi rôznymi abrazívnymi riešeniami sa diamantové brúsne kotúče stali preferovanou voľbou pre spracovanie polovodičových platní vzhľadom na ich výnimočnú tvrdosť, vynikajúcu odolnosť voči opotrebovaniu, dlhú životnosť a schopnosť dosiahnuť ultra-presné brúsne výsledky.

Pre výrobcov polovodičov má výber vhodného diamantového brúsneho kotúča priamy vplyv na kvalitu waferov, výrobnú efektivitu, mieru výťažku a celkovú spoľahlivosť výroby .

Prečo sú diamantové brúsne kotúče ideálne pre brúsenie polovodičov

1. Vynikajúca tvrdosť pre pokročilé polovodičové materiály

Diamant je najtvrdším abrazívnym materiálom, ktorý je k dispozícii, a preto sú diamantové brúsne kotúče veľmi vhodné na spracovanie extrémne tvrdých a krehkých polovodičových materiálov.

Typické aplikácie zahŕňajú:

• Monokryštálové kremíkové wafery
• Polykryštálové kremíkové materiály
• Podložky z karbidu kremíka (SiC)
• Safírové wafery
• Komponenty z nitrilu galia (GaN)
• Polovodičové keramiky
• Kvartové sklenené materiály

Vynikajúca tvrdosť diamantu umožňuje účinné odstraňovanie materiálu pri zachovaní vynikajúcej rozmernosti a integrity povrchu.

2. Ultra-presný výkon odstraňovania materiálu

Brúsenie polovodičových platní vyžaduje extrémne presnú kontrolu odstraňovania materiálu, často na úrovni mikrónov alebo dokonca podmikrónových rozmerov.

Vysokovýkonné diamantové brúsne kotúče poskytujú:

• Presnú kontrolu hĺbky brúsenia
• Stabilné rýchlosti odstraňovania materiálu
• Konštantný brúsny výkon počas dlhých výrobných cyklov
• Zlepšenú rovnakosť hrúbky platní

Tieto výhody robia diamantové kotúče nevyhnutnými pre aplikácie, ako sú:

• Tenčenie platník
• Brúsenie zadnej strany
• Presná príprava podkladov

3. Vynikajúca kvalita povrchu a skrátený čas spracovania

Kvalita povrchu je jedným z najdôležitejších faktorov v polovodičovom výrobe.

Diamantové brúsne kotúče s jemnou zrnitosťou dokážu dosiahnuť:

• Ultrahladké povrchy platník
• Nižšiu drsnosť povrchu
• Znížené poškodenie podpovrchových vrstiev
• Menšiu potrebu leštenia
• Zlepšená účinnosť procesov v dolných častiach výrobného reťazca

Toto je obzvlášť cenné pre pokročilé integrované obvody, výkonové polovodiče a optické polovodičové aplikácie.

Polovodičové aplikácie diamantových brúsnych kotúčov

Brúsenie zadnej strany kremíkových platní

Diamantové brúsne kotúče sa široko používajú na tenčenie platní po výrobe polovodičov.

Kľúčové výhody:

• Vysoká kontrola plošnosti
• Rovnomerné znižovanie hrúbky
• Stabilný brúsny výkon

Brúsenie platní z karbidu kremíka (SiC)

Jako materiál polovodičov novej generácie ponúka SiC vynikajúcu tepelnú vodivosť a vysokú odolnosť voči napätiu, avšak kvôli extrémnej tvrdosti vyžaduje pokročilé brúsne technológie.

Diamantové brúsne kotúče poskytujú:

• Efektívne odstraňovanie materiálu
• Znížené riziko praskania
• Zlepšená kvalita povrchu
• Dlhšia životnosť kotúča

Spracovanie safírových podložiek

Safírové podložky sa bežne používajú v priemysle LED a optických polovodičov.

Diamantové brúsne kotúče umožňujú:

• Presná kontrola hrúbky
• Vysokokvalitné dokončovanie povrchu
• Stabilný výrobný výkon

Spracovanie polovodičov z nitrilu galíka (GaN)

Materiály GaN sa čoraz viac používajú vo vysokovýkonných elektronických zariadeniach a RF zariadeniach.

Presné diamantové brousenie umožňuje dosiahnuť:

• Vysokú presnosť obrábania
• Znížené tepelné poškodenie
• Spoľahlivé prípravky podložiek

Brúsenie polovodičových keramických komponentov

Diamantové brúsne kotúče sa používajú tiež pri presnom obrábaní:

• Keramické podložky
• Komponenty elektronického balenia
• Izolačné materiály
• Kvartcové komponenty

Záver

So zvyšujúcim sa vývojom polovodičovej technológie smerom k tenším platničkám, tvrdším materiálom podložiek a zložitejším štruktúram zariadení sa presné brúsenie stáva čoraz dôležitejšie v polovodičovom výrobe.

Diamantové brúsne kotúče poskytujú výrobcom polovodičov:

• Vynikajúcu presnosť brúsenia
• Vynikajúca kvalita povrchu
• Znížené poškodenie podpovrchových vrstiev
• Dlhodobú stabilitu procesu

Či sa spracovávajú kremíkové platničky, podložky z karbidu kremíka (SiC), safírové platničky, materiály z nitrilu gáliu (GaN) alebo keramické polovodiče , vysokovýkonné diamantové brúsne kotúče zostávajú spoľahlivým riešením na zlepšenie kvality platničiek a výrobného výkonu.

Pre výrobcov, ktorí hľadajú pokročilé riešenia na brousenie platní, poskytujú presne navrhnuté diamantové brúsne kotúče výkon potrebný pre výrobu polovodičov novej generácie.